REBEKA Détecteur BSE rétractable

NewTec en collaboration avec Crytur présente un détecteur d’électrons rétro-diffusés rétractable (BSE) pour MEB équipé d’un capteur fiable, robuste et d’une mécanique haute précision.

Le capteur:

  • Scintillateur YAG:Ce avec une efficacité optimisée et postluminescence minimisée, temps de décroissance exponentielle 75ns et 30 photons/keV.
  • Diamètre extérieur 15 mm.
  • Diamètre de passage du faisceau d’électrons au choix 6/4/2 ou 1.2mm. Cette dimension limite le champ de balayage.
  • Exclusivité Crytur : Dépôt basse énergie sensible jusqu’à 500eV.
  • Sensible jusqu’à 1pA de courant de sonde.

L’électronique:

  • Amplification par photo-multiplication pour des résolution extrêmes.
  • Bande passante 50 MHz.
  • 3 filtres pour optimiser le raport signal/bruit en fonction des vitesses de balayage.
  • Sortie signal vidéo ±1V. (± 5V)
  • Logiciel de contrôle et de commande.

La mécanique:

  • Motorisation de la rétraction jusqu’à 145 mm.
  • Répétabilité de 0,01 mm.
  • Réglage fin des axes X,Y,Z (± 2 mm).
  • Bride d’adaptation aux différents MEB.

Gallerie d'images:

Exemple d’installation sur un LEO 440 de Newtec
BSE - 10kV - 100pA - 100µs/pxl - Alliage Fe-Al-Nb

En Savoir Plus:

Le site web Crytur


Brochure REBEKA
Flyer REBEKA (En Anglais)